Вестник Витебского
государственного
технологического
университета
ISSN: 2306-1774 (Online)
ISSN: 2079-7958 (Print)
раб. тел. +375 212 495338
ISSN: 2306-1774 (Online)
ISSN: 2079-7958 (Print)
раб. тел. +375 212 495338
УДК 53.084.2
|
скачать полный текст |
РефератРазработана конструкция и технология изготовления матричного кристалла газовых сенсоров. Исследованы теплоэнергетические характеристики в статическом и динамическом режимах работы. Промоделирована зависимость распределения тепла по площади чувствительного элемента от топологии тонкопленочного нагревателя. Исследованы газочувствительные свойства. |
В.М. Колешко, А.В. Сергейченко, И.А. Таратын, Л.Б. Нагамов Матричный кристалл газовых сенсоров: изготовление, характеристики // Вестник УО «ВГТУ». 2007. № 13. С.124
